除金属转子流量计外,工业上常用的流量计包括差压流量计、涡街流量计、电磁流量计、超声波流量计、涡轮流量计、椭圆齿轮流量计等。对于不同的被测流体、不同的流动状态和不同的测量位置,每种流量计都有各自的优缺点。例如,在不同流速的场合,多种流量计如孔板和涡街可用于中高流速下的流量测量,而金属浮子流量计在较低流速和较高压力下的流量测量中起着非常重要的作用,特别是在低雷诺数的情况下。
在多晶硅生产现场使用金属转子流量计时,由于测量介质的瞬时流量太小或不稳定,工作压力低或不稳定,流量计前后测量管内径变化太大,流量计前后的直管段严重不符合使用要求,特别是当测量介质为气体时,流量计测量管内的介质流量极不稳定,导致浮子跳动。浮子的垂直上下线性运动通过磁耦合系统传递,并转换成指针轴的旋转操作,与指针轴结合的指针旋转以指示介质的瞬时流动。当流量计测量管中浮子的跳动现象传递给指针时,它变成指针的连续振荡现象,导致流量指示不稳定,甚至根本无法读取刻度值来确定瞬时流量值。
如果现场出现这种现象,通常的处理方法是分析指针摆动的主要原因。在大多数情况下,多晶硅生产过程中采取措施改善介质流动条件,从而减少和避免指针摆动。然而,大多数情况下,指针摆动的频率和幅度很难避免并从根本上降低。
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